معرفی دورهفناوری MEMS یا فناوری سیستم‌های میکرو الکترو‌مکانیکی در واقع تلفیقی از اجزای مکانیکی، حسگر‌ ها، بازوهای مکانیکی و اجزای الکترونیکی هستند که بر روی لایه‌ای از سیلیکون قرار دارند. این ساختار مکانیکی بسیار کوچک در ابعاد  میکرون بر پایه ...